高純六氟化硫
高純六氟化硫在微電子行業(yè)中的應(yīng)用，主要可作為優(yōu)良的蝕刻氣體，在光導(dǎo)纖維制造中，可作為單膜光纖隔離層摻添劑，還可作為重要的激光材料用在激光技術(shù)中。
產(chǎn)品性
分子量 146.06，常態(tài)下是種無(wú)色、無(wú)臭、無(wú)毒、不燃、無(wú)腐蝕性的氣態(tài)物質(zhì)，化學(xué)穩(wěn)定性強(qiáng)，近年來(lái)高純六氟化硫（99.999％)在電子行業(yè)的應(yīng)用發(fā)展迅速，是優(yōu)良的蝕刻氣體。
應(yīng)用域
高純六氟化硫在微電子行業(yè)中的應(yīng)用，主要可作為優(yōu)良的蝕刻氣體，在光導(dǎo)纖維制造中，可作為單膜光纖隔離層摻添劑，還可作為重要的激光材料用在激光技術(shù)中。
高純度六氟化硫質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)：
| 檢驗(yàn)項(xiàng)目 | 純度 % | 氮?dú)鈖pmv | 氧氣ppmv | 四氟化碳ppmv | 氧化碳ppmv | 二氧化碳ppmv | 酸度ppmv | 水分ppmv |
| 指標(biāo)值 | ≥99.999 | ≤3 | ≤3 | ≤0.5 | ≤0.5 | ≤0.5 | ≤0.1 | ≤2 |
